工业无水氟化锆主流有四条制备路线，国内量产以氟锆酸铵热解法、氧化锆气相氟化法为常见的，水合盐脱水、四氯化锆氟化转化多用于高纯或者特种场景：
1. 氟锆酸铵热解法
       先用氧氯化锆或者氧化锆、氢氟酸、氨水制备六氟锆酸铵，也可以直接用氟化氢铵和氧化锆反应得到氟锆酸铵中间体；之后在四百到五百度的惰性气氛中高温热分解，产出氟化锆，同时释放氨气和氟化氢气体，尾气可以回收循环使用。
       优势：原料容易采购，湿法阶段能够通过结晶提纯，提前分离铪、铁、硅等杂质，适合光学级、熔盐堆用高纯氟化锆；设备腐蚀压力相对可控。
       短板：会产生大量含氟尾气，尾气回收配套设备投入较高；分解温度控制不当，容易残留氧、铵根类杂质。
2. 二氧化锆气相氟化法（气态氟化氢直接氟化）
       以氧化锆粉体作为原料，在回转炉或者流化床设备内通入无水氟化氢气体，在五百到六百五十度高温下直接发生氟化反应生成氟化锆，产物还可以再通过升华进一步提纯。
       优势：工艺流程短，适合连续化大批量生产工业级氟化锆。
       短板：氟化氢腐蚀性很强，反应炉需要哈氏合金、蒙乃尔合金这类特种耐蚀材质；氧化锆容易氟化不完全，成品氧含量偏高，对炉内气流分布、温度均匀性要求很高。
3. 水合氟化锆脱水法（湿法沉淀 + 高温脱除结晶水）
       氧化锆溶解在浓氢氟酸里面，析出带结晶水的氟化锆；先低温预干燥，再在氟化氢保护气氛下高温深度脱水，阻止水解，得到无水氟化锆。
       优势：沉淀环节便于提纯，适合小批量生产高纯原料。
       短板：难点是物料极易水解，如果脱水环境缺少氟化氢保护，会生成氟氧化锆、氧化锆杂质，很难把氧指标控制在低位；能耗偏高，很少用于大规模量产。
4. 四氯化锆氟化转化法（卤交换法）
       以四氯化锆为原料，和无水氟化氢气体在三百度左右发生卤交换反应，氯元素被氟置换，得到氟化锆以及氯化氢。
       优势：反应速度快，方便和锆冶金产业链配套；经过升华提纯之后纯度很高。
       短板：四氯化锆原料成本高，氯化氢和氟化氢混合烟气腐蚀性极强，环保处理压力大；一般只用来生产核级、高纯小批量产品，不作为大宗量产主线。